20φ程度の円形の電極に、粗研磨では#600、仕上げ研磨では#2500の不織布を研磨材として用いて円柱上面(平面)を電解砥粒研磨した例です。
わずか3分で最大粗さ5.213μmを0.337μmRyまで改善しました。
棒状の電極に、#600と#2500
の不織布を夫々粗と仕上げに研磨材として用い、パイプ内面に電解砥粒研磨を行った例です。
4分間で最大粗さ1.953μmを
0.586μmまで改善しました。
オスカー式研磨機を用い、遊離砥粒を使った薄板の電解砥粒研磨です。
15分で最大粗さ0.057μm(57nm)、平均粗さ0.010μm(10nm)を達成しました。